3D白光干涉仪扫描

优尔鸿信尺寸检测实验室拥有一大批高精度尺寸量测扫描设备及量测工程师，如三坐标测量机、自主研发的影响扫系统、ATOS扫描设备、3D干涉仪、探针扫描仪等，可为客户提供专业的尺寸量测、量测程序开发、量测系统能力评估、3D扫描、逆向工程及微观表面测量等服务。

3D白光干涉仪主要基于光学干涉技术，通过测量光波在样品表面和参考镜表面反射后的光程差，来解析出样品表面的三维形貌信息。可以实现对纳米级尺寸的精确测量。

白光干涉仪的特点：

高精度测量：白光干涉仪利用白光作为光源，通过光谱分析技术可以实现对纳米级高度变化的精确测量。

非接触式测量：由于测量过程中无需接触样品表面，因此不会对样品造成任何损伤，特别适用于对精密器件和易损材料的测量。

快速成像与分析：现代白光干涉仪通常配备有高速CCD相机和先进的图像处理算法，能够在几秒钟内完成成像并自动分析结果，大大提高了测试效率。

白干涉仪的性能：

光学干涉原理,垂直分辩率高达0.1nm

量测精度: 1%

重复性精度:

RMS重复性(EX Mode): 1nm

RMS重复性(Phase Mode): 0.05nm

垂直扫描范围: 1nm～5mm

扫描方式:垂直扫描干涉(VSI)和相移干涉(PSI)

白光干涉仪的主要功能：

非接触式2D&3D粗糙度检测

微观尺寸量测及产品失效分析

3D表面形貌扫描分析

透明&半透明膜厚测试