3D白光干涉仪扫描主要基于光学干涉技术，通过测量光波在样品表面和参考镜表面反射后的光程差，来解析出样品表面的三维形貌信息。可以实现对纳米级尺寸的精确测量。

工业CT在多个领域具有广泛的用途，对于复杂内部结构或不能破坏的零件，普通3D扫描和三坐标测试已经不能满足。工业CT外形尺寸3D扫描可以获取其三维数字模型，进行尺寸分析、截面比对以及逆向工程，对于复制、改进或重新设计部件非常有用，尤其仿制复杂机械零件等。

在制造过程中，精确的模型是确保产品质量的关键，3D扫描，可以快速获取实物对象的精确尺寸和形状信息，从而确保制造过程的准确性和一致性。