| 品牌 | 优尔鸿信 |
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三离子束切片(离子束切割制样)是微观截面表征领域的制样技术,通过高能氩离子束精准轰击样品,制备出无机械损伤、高平整度的微观截面,是扫描电镜(SEM)、能谱分析(EDS)、背散射电子衍射(EBSD)、原子力显微镜(AFM)等高精度微区分析的核心前处理环节。
优尔鸿信检测实验室全新引进徕卡三离子束切割仪,面向高校科研院所、半导体企业、新材料研发、工业失效分析等客户,提供高效、全材质覆盖的第三方制样检测机构服务,助力客户获取真实、清晰的样品内部微观结构信息。
优尔鸿信检测优势
1.大尺寸高精度切割
采用徕卡三离子束切割系统,三把鞍形场离子源协同轰击,硅材料研磨速率可达 150μm/h,可制备大于 4×1mm 的宽幅平整截面;样品定位校准精度达 ±2μm,可对微孔、界面、金线接点等微小目标区域实现定点切割,满足精细化检测需求。
2. 全材质适配
突破传统制样的材质限制,几乎适配所有类型样品:
硬质脆性材料:金属合金、陶瓷、矿物、半导体晶圆、涂层复合材料
软质多孔材料:聚合物、橡胶、纤维、木材、纸张、泡沫材料
非均质多相材料:电子元器件、层状复合材料、地质样品
3. 原位衬度增强
切割完成后样品无需转移,可在同一样品载台上直接完成离子束刻蚀衬度增强处理,强化晶界、相界面、不同组分的拓扑结构差异,显著提升后续 SEM 观察、EBSD 标定的清晰度与准确性。
4. 高通量制样
支持三样品台并行处理,单批次可同时制备 3 个样品,支持无人值守运行;常规样品标准周期 3-5 个工作日,可提供 24 小时加急制样服务,满足科研项目与企业失效分析的紧急需求。
5.一站式服务
可无缝对接 SEM、EDS等微区表征测试,同一样品托完成 “制样 - 检测 - 报告" 全流程,避免样品转移带来的污染、损伤与定位偏差,保障检测数据的真实性与可重复性。
适用领域及用途
半导体与电子行业:IC 封装金线接点截面分析、TSV 通孔结构表征、芯片失效分析、涂层界面检测
新材料研发:金属合金金相分析、陶瓷复合材料界面表征、新能源材料截面观察
高分子与轻工行业:聚合物纤维截面结构、橡胶材料内部缺陷、薄膜层厚检测
地质与科研领域:矿物岩相分析、生物组织超薄切片、多孔材料孔径结构表征
工业失效分析:元器件断裂失效、涂层脱落、界面结合力问题的截面验证
服务流程
需求沟通:客户提供样品信息与检测目标,技术团队评估制样可行性
样品寄送:客户按要求寄送样品,特殊样品可提供上门取样服务
方案确认:确认制样方案、周期与费用,启动测试
制样检测:完成三离子束切割,可配套后续表征分析
报告交付:交付制样结果 / 检测报告,剩余样品可返还或封存
如有三离子束切片测试需求,可在联系优尔鸿信检测,免费获取第三方制样检测机构样品制样方案与报价。

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