扫描电镜是一种用途广泛的科学研究仪器,是通过电子束来成像的,，其放大倍数可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。$n扫描电镜测试项目：$nSEM：形貌观察，利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像，可放大倍率5-100万倍 。$nEDS：成分分析（半定量），通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息，测量Be及以上元素。

场发射扫描电镜测试利用场发射电子枪产生高能量的电子束，当电子束与样品相互作用时，会产生二次电子、背散射电子等信号。二次电子主要来自样品表面浅层，对样品表面形貌非常敏感，可用于观察样品的表面细节；背散射电子则与样品原子序数有关，通过分析背散射电子的信号可以了解样品表面不同区域的成分差异。

SEM扫描电镜检测是一种在材料科学和纳米科学领域中广泛使用的设备，其能力使它成为研究微观结构和性能的重要工具。