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研讨会|Fischione聚焦离子束切割抛光系统知识要点剖析

发布时间: 2023-07-27  点击次数: 272次

机械磨样、氩离子抛光、FIB(聚焦离子束技术)是常见的三种样品制样加工方式,每种样品制样加工方式各有优缺点,主要如下:

1.手工机械研磨样虽价格便宜可观察区域面积大,但由于其受到硬度、延展性等材料性能的影响,做出来的截面常常有变形、磨痕、脱落、褶皱、热损伤等特性,产生假象,严重影响分析准确度,对厚度测量,截面观察带来困难。

2.氩离子抛光制样是利用高压电场使氩气电离产生离子态,产生的氩离子在加速电压的作用下,高速轰击样品表面,对样品进行逐层剥蚀而达到抛光的效果。可进行截面制备与平面抛光,价格稍高,但样品表面光滑无损伤,加工精度高,界面清晰,镀层尺寸测量准确,还原材料内部的真实结构,用于制备EBSD、CL、EBIC或其它分析制样。

3.聚焦离子束技术(FIB)是利用电透镜将镓离子束聚焦成非常小尺寸的离子束轰击材料表面,实现材料的剥离、沉积、注入、切割和改性,配合扫描电镜(SEM)等高倍数电子显微镜实时观察,成为了纳米级分析、制造的主要方法。虽然价格昂贵、加工区域小,但避免了金属延展、碎屑填充、厚度偏差大的弊端。

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